濕度傳感器是基于其功能材料能發(fā)生與濕度有關(guān)的物理效應(yīng)或化學(xué)反應(yīng)的基礎(chǔ)上制造的。它有將濕度物理量轉(zhuǎn)換成電信號的功能，這些功能可以通過與濕度有關(guān)的電阻或電容的變化，長度或體積的脹縮以及結(jié)型器件或MOS器件的某些電參數(shù)的變化，例如PN結(jié)擊穿電壓、電流放大系數(shù)、反向漏電流、MOS器件的溝道電阻等的變化而得以實現(xiàn)。濕度傳感器的特性參數(shù)主要有:濕度量程、靈敏度、溫度系數(shù)、響應(yīng)時間、濕滯回差、感濕特征量一一相對濕度特性曲線等。

濕度敏感器件的濕度溫度系數(shù)是表示器件的感濕特性曲線隨環(huán)境溫度而變化的特性參數(shù)。在不同的環(huán)境溫度下，器件的感濕特性曲線是不相同的。顯然，器件感濕特性曲線隨環(huán)境溫度的變化越大，由感濕特征量所表示的環(huán)境相對濕度與實際上的環(huán)境相對濕度之間的誤差就越大。因此，環(huán)境溫度的不同直接影響器件的測濕誤差。圖3-3給出了Co34，-TiO2濕度敏感器件的感濕特性曲線隨環(huán)境溫度的變化情況。

濕度敏感器件的濕度溫度系數(shù)定義為:在器件感濕特征恒定的條件下，該感濕特征量值所表示的環(huán)境相對濕度隨環(huán)境溫度的變化率。若以w表示器件的濕度溫度系數(shù)，則有

其單位為%RH（℃）^-1

由期間的濕度溫度系數(shù)a值，即可得知期間因環(huán)境溫度變化所引起的測濕誤差，例如，器件的a=0.3%RH（℃）^-1時，如果環(huán)境溫度變化20℃，就將引起6%RH的測濕誤差。