電容式傳感器是用電容器作為敏感元件,將被測物理量的變化轉換為電容量變化的一種傳感器。電容式傳感器在力學量的測量中占有非常重要的地位,它可以對重量、壓力、位移、振動、加速度等進行測量,還可以對差壓、液位、液面、料面、成分含量等多種量進行測量。
電容式傳感器的特點如下:
①功率小、阻抗高。電容式傳感器的電容量很小,一般為幾十至幾百皮法,因此具有高阻抗輸出。
②靜電引力小,動態(tài)性能好。電容式傳感器極板間的靜電引力很小,工作時需要的作用能量很小,它有很小的可動質量,因而具有較高的固有頻率和良好的動態(tài)響應特性。
③發(fā)熱影響小。
④可以非接觸式測量,并能在高溫、輻射和強烈振動等惡劣條件下工作。
⑤零漂小、結構簡單、體積小、分辯率高。
基于電容式傳感器具有以上諸多的優(yōu)點,隨著電容測量技術的迅速發(fā)展,電容式傳感器在非電量測量和自動檢測中得到了廣泛的應用。