傳感器的集成化,可大大提高其工作性能,增強它的可靠性和性價比。目前,基于硅集成工藝的傳感器技術已成為傳感器技術的一個研究熱點,其優(yōu)點具體如下:

1)性能大大提高：由于采用集成工藝技術,可使傳感器特性均勻、各元件之間配置協(xié)調(diào)、匹配良好。不需要對其元件進行校正和調(diào)整。從而大大提高其整體的性能。

2)可靠性得到提高：傳感器集成化,則整體體積大大縮小,這對消除傳感器結構上的某些不可靠因素起到了很大作用。

3)成本得到進一步降低：其生產(chǎn)過程中采用的大規(guī)模集成電路等制造工藝,使得生產(chǎn)規(guī)模化,從而降低了傳感器的生產(chǎn)成本。

4)功能多樣化：傳感器集成化的結構可實現(xiàn)傳感器同時實現(xiàn)多種參數(shù)的測量。