熱偶真空計的主要優點為:
(1)結構簡單,制造方便,成本較低;
(2)能測量氣體和蒸氣的全壓強;
(3)能進行連續測量,與自動記錄儀配合,能自動記錄被測真空度;
(4)在使用過程中,如真空系統突然漏氣也不致損壞。
其主要缺點為:
(1)熱慣性較大,一般為幾秒至幾十秒,在被測壓力變化很快時,指示儀表的讀數將滯后于實際壓力;
(2)環境溫度對測量結果有一定影響,測量結果還與氣體種類和成分有關;
(3)隨著加熱絲表面情況的變化,加熱電流也隨之改變,影響測量結果的準確性,
(4)量程不寬,工作特性曲線為非線性。