薄膜式氣動(dòng)閥原理結(jié)構(gòu)如圖3-29所示，圖中圓形橡皮薄膜固定在外殼上，在薄膜上聯(lián)結(jié)有推桿，彈簧力推動(dòng)薄膜向上，產(chǎn)生一初應(yīng)力(此初應(yīng)力可以調(diào)整)。由調(diào)節(jié)器送來(lái)的壓縮氣體，由進(jìn)氣口進(jìn)入薄膜的上腔，由于氣壓的不同，相應(yīng)地改變著閥門的開(kāi)啟度，因?yàn)楸∧っ娣e較大，所以在推動(dòng)桿上有足夠大的作用力。膜片有效面積越大，執(zhí)行機(jī)構(gòu)的位移推力越大。國(guó)產(chǎn)薄膜式氣動(dòng)閥膜片有效面積有200, 280, 400, 630,1000, 1600cm六種規(guī)格。薄膜式氣動(dòng)閥通常接受0.02~0.1 MPa的信號(hào)壓力。當(dāng)薄膜上信號(hào)壓力增大時(shí)，閥門開(kāi)度變大的閥門為氣開(kāi)式氣動(dòng)閥;當(dāng)薄膜上信號(hào)壓力增大，閥門開(kāi)度變小的閥門為氣閉式氣動(dòng)調(diào)節(jié)閥。