電阻真空計(jì)又稱(chēng)皮喇尼(Pirani)真空計(jì)或皮氏真空計(jì)。它由外殼和管芯(包括底蓋、玻璃絕緣子、熱絲和熱絲支架等)兩部分組成。圖8-15示出了其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖,圖8-16所示的為其電路原理圖。
R1是規(guī)管的電阻,R和R,為電位器,R3=R4,工作時(shí),使規(guī)管暴露于大氣,調(diào)節(jié)R使真空計(jì)中電流達(dá)到規(guī)定值I,,且保持此值不變;再調(diào)節(jié)R2,使R2=R1,電橋達(dá)到平衡,I2=0.當(dāng)規(guī)管中壓力降低時(shí),電阻絲的溫度隨之升高,R,阻值增大,電橋失去平衡,I2≠0I,變化的大小,也就表示壓力變化的大小。電阻真空計(jì)上所指示的真空度,實(shí)質(zhì)上就是I:經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)、換算后給出的讀數(shù)。電阻真空計(jì)的測(cè)量范圍為10-1~100Pa。
電阻真空計(jì)是相對(duì)真空計(jì),所測(cè)壓力與被測(cè)氣體種類(lèi)有關(guān),其校準(zhǔn)曲線都是對(duì)干燥氮?dú)饣蚩諝舛缘摹T谟糜跍y(cè)量干燥箱的真空度時(shí),應(yīng)將結(jié)果加以修正。由于干燥箱中的水蒸氣組分在整個(gè)升華干燥過(guò)程中是不斷變化的,所以即使按某一比例的水蒸氣量進(jìn)行了修正,當(dāng)在與此比例不同的條件下進(jìn)行測(cè)量時(shí),其結(jié)果仍然不是“真實(shí)”的真空度。
電阻真空計(jì)長(zhǎng)期使用(尤其在1~100Pa壓力下)后,因熱絲氧化會(huì)引起零點(diǎn)漂移,因此要避免長(zhǎng)時(shí)間暴瑤在大氣中或在高壓力下工作。
電阻真空計(jì)的規(guī)管測(cè)頭與被測(cè)空間是相通的,規(guī)管內(nèi)蒸氣滅菌很困難,這樣可能因其滅菌不徹底而污染制品。