在使用制冷壓縮機抽空的過程中,假如壓縮機自身帶滑油泵時,則隨著系統內真空度的提高會使滑油泵工作條件惡化,引起機器運動部件的損壞,所以當油壓(指壓差)小于26.7kPa時,應立即停車。為了檢查是否已將系統內的水分,空氣等抽盡,可在壓縮機排出閥的多用孔道上接一臨時管子,待系統中的大量空氣排出后,將管子的另一端放入一只盛有冷凍油的容器內。若系統內還有水分,空氣等,油里就會出現氣泡,一直抽到在較大的一段時間里不出現氣泡,說明系統內的水分,空氣等已抽盡。如果在較長一段時間內仍有氣泡連續不斷地產生,則可先關閉壓縮機的吸入閥,檢查一下壓縮機本身有和否泄漏,若壓縮機不漏,則盛油容器里就不出現氣泡,同時也說明是系統里有毛病;若壓縮機有漏,氣泡就會連續產生,這往往是軸封不密合所造成的,如果氣泡的出現是開始大,逐漸變小,氣泡出現的間隔時間也越來越長,這說明軸封從不密合到逐漸密合。若發現管端(插和入不深的情況下)有將滑油反復吸進吐出的現象,當將管端插到油內深處就看不出此現象,一般是閥片不密合所致,經重負荷使用后會好轉的。

對全封閉式壓縮機所組成的制冷系統,是不能用本身壓縮機來抽真空的,故需要另接真空和泵來完成這項工作。由較大型的壓縮機或半封閉壓縮機所組成的制冷系統,一般也不宜用自身壓縮機抽空。因大缸徑壓縮機用自身抽空有危險（因為排氣口較小），而半封閉壓縮機用自身抽空時，電動機冷凍條件差，用真空泵抽真空的示意圖如下圖所示。